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芯中有我--电子级氢氟酸   (阅读:2513)

在不久之前,中美贸易战的大背景下还存在过一场日韩贸易战,大家应该还都有印象,日本对韩禁售电子级氢氟酸、氟聚酰亚胺和光刻胶,韩国哀嚎一片。为什么这三类产品对于韩国这么重要呢?

 

别的且不说,电子级氢氟酸属国际高端垄断产品,其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性影响极大,主要用于半导体、太阳能和液晶显示器等领域,是这些行业中关键的辅助材料之一。其中非常大应用市场是半导体产业,约占电子级氢氟酸总消耗量47.3%;其次是太阳能产能,比重22.1%;液晶显示器产业则占18.3%。半导体和液晶显示都是韩国的支柱产业,对韩国的重要性不言而喻,因此日本这一招可谓打在韩国的命脉上。因此韩国急忙转向中国,韩国三星、LG、SK海力士等企业开始频频与中国相关企业联系,据说也签订了一些购买协议。

 

目前日韩贸易战已经告一段落,中美贸易战却是愈演愈烈,中兴被处罚,华为被全面封锁,中国人民前所未有的感觉到了芯片产业的重要性,电子级氢氟酸做为半导体制作过程中应用非常多的超净高纯试剂之一,质量必须得到保证。

 

目前国内现行关于氢氟酸的标准只有GB/T 31369-2015《太阳电池用电子级氢氟酸》,不过团体标准《电子工业用高纯氢氟酸》和《电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子含量的测定  离子色谱法》已经完成了意见征集,以上标准中均采用离子色谱来检测氢氟酸中的痕量阴离子,离子色谱在保证电子级氢氟酸质量方面具有不可或缺的作用。

 

瑞士万通离子色谱坚实耐用,整机由瑞士进口,取得“Swiss made”标识的使用资格(至少60%成本在瑞士,赋予产品基本特征的阶段也必须在瑞士进行),十分适合氢氟酸中阴离子的检测。

 

离子色谱法直接分析氢氟酸中的痕量阴离子难度较大,高倍稀释虽然能降低高含量的F-的干扰,但大大降低了待测阴离子的灵敏度。二维离子色谱法为此类样品提供了解决方法。HF其实为一种弱酸,它可以在离子排斥柱上保留,因此可利用这一特性,样品在离子排斥柱上预分离,强酸如HCl、HNO3、H2SO4等在排斥柱上不保留,通过阀切换技术,进入第二套阴离子分析系统分析。

 

使用Metrosep Organic Acid做为离子排斥分离柱,淋洗液为超纯水,进样体积250μL,流速0.5mL/min,进行预分离;Metrosep A Supp 10-250做为阴离子分离柱,淋洗液: 5.0mM Na2CO3+5.0mM NaHCO3 ; 流速1.0mL/min,柱温50℃,进行阴离子分析。

 

除电子级氢氟酸外,其它高纯试剂如电子级硝酸、电子级磷酸、电子级过氧化氢等原料中痕量阴离子的检测,瑞士万通均可提供完善的解决方案,在后面的微信文章中会向大家一一介绍,敬请期待!

 
 
 
 

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